A produción de xofre 6N (≥99,9999 % de pureza) de ultra alta pureza require destilación en varias etapas, adsorción profunda e filtración ultralimpa para eliminar metais traza, impurezas orgánicas e partículas. A continuación móstrase un proceso a escala industrial que integra destilación ao baleiro, purificación asistida por microondas e tecnoloxías de postratamento de precisión.
I. Pretratamento de materias primas e eliminación de impurezas
1. Selección de materias primas e pretratamento
- RequisitosPureza inicial do xofre ≥99,9 % (grao 3N), impurezas metálicas totais ≤500 ppm, contido de carbono orgánico ≤0,1 %.
- Fusión asistida por microondas:
O xofre bruto procésase nun reactor de microondas (frecuencia de 2,45 GHz, potencia de 10–15 kW) a 140–150 °C. A rotación dipolar inducida por microondas garante unha fusión rápida á vez que se descompoñen as impurezas orgánicas (por exemplo, compostos de alcatrán). Tempo de fusión: 30–45 minutos; profundidade de penetración das microondas: 10–15 cm - Lavado con auga desionizada:
O xofre fundido mestúrase con auga desionizada (resistividade ≥18 MΩ·cm) nunha proporción de masa de 1:0,3 nun reactor con axitación (120 °C, presión de 2 bar) durante 1 hora para eliminar os sales solubles en auga (por exemplo, sulfato de amonio, cloruro de sodio). A fase acuosa decántase e reutilízase durante 2 ou 3 ciclos ata que a condutividade sexa ≤5 μS/cm.
2. Adsorción e filtración en varias etapas
- Adsorción de terra de diatomeas/carbón activado:
Engádense terra de diatomeas (0,5–1 %) e carbón activado (0,2–0,5 %) ao xofre fundido baixo protección de nitróxeno (130 °C, axitación durante 2 horas) para adsorber complexos metálicos e materia orgánica residual. - Filtración de ultraprecisión:
Filtración en dúas etapas con filtros sinterizados de titanio (tamaño de poro de 0,1 μm) a unha presión do sistema ≤0,5 MPa. Reconto de partículas posfiltración: ≤10 partículas/L (tamaño >0,5 μm).
II. Proceso de destilación ao baleiro en varias etapas
1. Destilación primaria (eliminación de impurezas metálicas)
- EquipamentoColumna de destilación de cuarzo de alta pureza con recheo estruturado de aceiro inoxidable 316L (≥15 pratos teóricos), baleiro ≤1 kPa.
- Parámetros operativos:
- Temperatura de alimentación: 250–280 °C (o xofre ferve a 444,6 °C a presión ambiente; o baleiro reduce o punto de ebulición a 260–300 °C).
- Relación de refluxo5:1–8:1; flutuación da temperatura na parte superior da columna ≤±0,5 °C.
- ProdutoPureza do xofre condensado ≥99,99 % (grao 4N), impurezas metálicas totais (Fe, Cu, Ni) ≤1 ppm.
2. Destilación molecular secundaria (eliminación de impurezas orgánicas)
- EquipamentoDestilador molecular de percorrido curto con espazo de evaporación-condensación de 10–20 mm, temperatura de evaporación de 300–320 °C, baleiro ≤0,1 Pa.
- Separación de impurezas:
Os compostos orgánicos de baixo punto de ebulición (por exemplo, tioéteres, tiofeno) vaporízanse e elimínanse, mentres que as impurezas de alto punto de ebulición (por exemplo, poliaromáticos) permanecen nos residuos debido ás diferenzas na vía libre molecular. - ProdutoPureza do xofre ≥99,999 % (grao 5N), carbono orgánico ≤0,001 %, taxa de residuos <0,3 %.
3. Refinación da zona terciaria (conseguindo unha pureza de 6N)
- EquipamentoRefinador de zona horizontal con control de temperatura multizona (±0,1 °C), velocidade de desprazamento da zona de 1 a 3 mm/h.
- Segregación:
Utilizando coeficientes de segregación (K=Csólido/ClíquidoK=Csólido/Clíquido), a zona 20–30 pasa polos metais concentrados (As, Sb) no extremo do lingote. Descártase o 10–15 % final do lingote de xofre.
III. Postratamento e conformado ultralimpo
1. Extracción con solventes ultrapuros
- Extracción de éter/tetracloruro de carbono:
O xofre mestúrase con éter de grao cromatográfico (proporción en volume 1:0,5) con asistencia ultrasónica (40 kHz, 40 °C) durante 30 minutos para eliminar trazas de compostos orgánicos polares. - Recuperación de solventes:
A adsorción por peneira molecular e a destilación ao baleiro reducen os residuos de solvente a ≤0,1 ppm.
2. Ultrafiltración e intercambio iónico
- Ultrafiltración de membrana de PTFE:
O xofre fundido fíltrase a través de membranas de PTFE de 0,02 μm a 160–180 °C e unha presión ≤0,2 MPa. - Resinas de intercambio iónico:
As resinas quelantes (por exemplo, Amberlite IRC-748) eliminan ións metálicos a nivel de ppb (Cu²⁺, Fe³⁺) a caudais de 1–2 BV/h.
3. Formación dun ambiente ultralimpo
- Atomización de gas inerte:
Nunha sala limpa de clase 10, o xofre fundido atomízase con nitróxeno (presión de 0,8–1,2 MPa) en gránulos esféricos de 0,5–1 mm (humidade <0,001 %). - Envasado ao baleiro:
O produto final sélase ao baleiro nunha película composta de aluminio baixo argón ultrapuro (≥99,9999 %) para evitar a oxidación.
IV. Parámetros clave do proceso
Fase do proceso | Temperatura (°C) | Presión | Tempo/Velocidade | Equipamento básico |
Fusión en microondas | 140–150 | Ambiente | 30–45 minutos | Reactor de microondas |
Lavado con auga desionizada | 120 | 2 barras | 1 hora/ciclo | Reactor axitado |
Destilación molecular | 300–320 | ≤0,1 Pa | Continuo | Destilador molecular de percorrido curto |
Refinamento de zonas | 115–120 | Ambiente | 1–3 mm/h | Refinador de zona horizontal |
Ultrafiltración de PTFE | 160–180 | ≤0,2 MPa | Caudal de 1–2 m³/h | Filtro de alta temperatura |
Atomización de nitróxeno | 160–180 | 0,8–1,2 MPa | gránulos de 0,5–1 mm | Torre de atomización |
V. Control de calidade e probas
- Análise de trazas de impurezas:
- GD-MS (espectrometría de masas por descarga luminescente)Detecta metais a ≤0,01 ppb.
- Analizador de COTMide carbono orgánico ≤0,001 ppm.
- Control do tamaño das partículas:
A difracción láser (Mastersizer 3000) garante unha desviación D50 ≤±0,05 mm. - Limpeza da superficie:
A XPS (espectroscopia fotoelectrónica de raios X) confirma un grosor de óxido superficial ≤1 nm.
VI. Deseño de seguridade e ambiental
- Prevención de explosións:
Os detectores de chama infravermellos e os sistemas de inundación de nitróxeno manteñen niveis de osíxeno <3 % - Control de emisións:
- Gases ácidosA depuración de NaOH en dúas fases (20 % + 10 %) elimina ≥99,9 % de H₂S/SO₂.
- COVO rotor de zeolita + RTO (850 °C) reduce os hidrocarburos non metánicos a ≤10 mg/m³.
- Reciclaxe de residuos:
A redución a alta temperatura (1200 °C) recupera metais; contido residual de xofre <0,1 %.
VII. Métricas tecnoeconómicas
- Consumo de enerxía800–1200 kWh de electricidade e 2–3 toneladas de vapor por tonelada de xofre 6N.
- RendementoRecuperación de xofre ≥85 %, taxa de residuos <1,5 %.
- CustoCusto de produción ~120.000–180.000 CNY/tonelada; prezo de mercado 250.000–350.000 CNY/tonelada (grado semicondutor).
Este proceso produce xofre 6N para fotorresinas semicondutoras, substratos compostos III-V e outras aplicacións avanzadas. A monitorización en tempo real (por exemplo, análise elemental LIBS) e a calibración de sala limpa de clase ISO 1 garanten unha calidade consistente.
Notas ao pé
- Referencia 2: Estándares industriais de purificación de xofre
- Referencia 3: Técnicas avanzadas de filtración en enxeñaría química
- Referencia 6: Manual de procesamento de materiais de alta pureza
- Referencia 8: Protocolos de produción química de grao semicondutor
- Referencia 5: Optimización da destilación ao baleiro
Data de publicación: 02-04-2025